ՀՀ ԳԱԱ եւ ՀՊՃՀ Տեղեկագիր. Տեխնիկական գիտություններ =Proceedings of the NAS RA and SEUA: Technical Sciences

Система двумерной визуализации и мониторинга переменного магнитного поля

Агаджанян, А. А. and Ахумян, А. А. and Закарян, Т. В. and Меликян, А. К. and Погосян, Н. Г. (2014) Система двумерной визуализации и мониторинга переменного магнитного поля. ՀՀ ԳԱԱ Տեղեկագիր: Տեխնիկական գիտություններ, 67 (4). pp. 395-402. ISSN 0002-306X

[img]
Preview
PDF - Requires a PDF viewer such as GSview, Xpdf or Adobe Acrobat Reader
827Kb

Abstract

Разработана и исследована система для двумерного мониторинга действующего значения индукции переменного магнитного поля в горизонтальной плоскости камеры плазменной обработки. Для увеличения скорости измерений был использован метод параллельных измерений датчиками с чувствительностью к переменному магнитному полю порядка 1.8∙10-8Т. Մշակվել և հետազոտվել է պլազմային մշակման խցիկի մագնիսական դաշտի գործող արժեքի երկչափ դիտարկման համակարգ: Չափման արագագործությունը մեծացնելու նպատակով օգտագործվել է զուգահեռ չափումների մեթոդը: Մագնիսական տվիչների սեփական զգայնությունը կազմում է մոտավորապես 1.8·10-8 Տլ: A system for two-dimensional monitoring of the effective induction value of the alternating magnetic field in the horizontal plane of the plasma processing chamber is developed and investigated. In order to increase the measurement speed, the method of parallel measurement is used by sensors sensitive to the alternating magnetic field of the order 1.8∙10-8Т.

Item Type:Article
Additional Information:Փոփոխական մագնիսական դաշտի երկչափ արտապատկերման և դիտարկման համակարգ / Ա. Ա. Աղաջանյան, Ա. Ա. Հախումյան, Տ. Վ. Զաքարյան, Հ. Կ. Մելիքյան, Ն. Գ. Պողոսյան։ A two- dimensional visualization and monitoring system for an alternating magnetic field / A. A. Aghajanyan, A. A. Hakhoumian, T. V. Zakaryan, H. K. Melikyan, N. G. Poghosyan.
Uncontrolled Keywords:плазменная обработка материалов, индукция магнитного поля, двумерная визуализация, переменное магнитное поле.
Subjects:T Technology > T Technology (General)
ID Code:3994
Deposited By:Fundamental Scientific Library
Deposited On:23 Mar 2015 14:10
Last Modified:03 May 2015 19:45

Repository Staff Only: item control page