ՀՀ ԳԱԱ եւ ՀՊՃՀ Տեղեկագիր. Տեխնիկական գիտություններ =Proceedings of the NAS RA and SEUA: Technical Sciences

Деформация кремниевых пластин с приповерхностным пористым слоем

Айвазян, Г. Е. and Варданян, А. А. and Чомоян, А. А. and Бахшецян, А. Г. (1998) Деформация кремниевых пластин с приповерхностным пористым слоем. ՀՀ ԳԱԱ Տեղեկագիր: Տեխնիկական գիտություններ, 51 (1). pp. 29-33. ISSN 0002-306X

[img]
Preview
PDF - Requires a PDF viewer such as GSview, Xpdf or Adobe Acrobat Reader
390Kb

Item Type:Article
Additional Information:Ծակոտկեն ենթամակերևութային շերտով սիլիցիումային թիթեղի դեֆորմացիան։ Deformation of the Silicon Wafer with a Porous Subsurface Layer.
Uncontrolled Keywords:Այվազյան Գ. Ե., Վարդանյան Ա. Հ., Չոմոյան Ա. Ա., Բախշեցյան Հ. Գ., Aivazyan G. E., Vardanyan A. H., Chomoyan A. A., Bakhshetsyan H. G.
Subjects:T Technology > T Technology (General)
ID Code:2034
Deposited By:Fundamental Scientific Library
Deposited On:10 Jun 2011 14:24
Last Modified:12 Mar 2014 12:40

Repository Staff Only: item control page