ՀՀ ԳԱԱ եւ ՀՊՃՀ Տեղեկագիր. Տեխնիկական գիտություններ =Proceedings of the NAS RA and SEUA: Technical Sciences

РЕНTГЕНОИНТЕРФЕРОМЕТРИЧЕСКОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ КРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ

Дремян, Г. Р. (2009) РЕНTГЕНОИНТЕРФЕРОМЕТРИЧЕСКОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ КРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ. ՀՀ ԳԱԱ Տեղեկագիր: Տեխնիկական գիտություններ, 62 (3). pp. 273-277. ISSN 0002-306X

[img]
Preview
PDF - Requires a PDF viewer such as GSview, Xpdf or Adobe Acrobat Reader
308Kb

Abstract

Приводятся экспериментальные и теоретические результаты исследования методом рентгенодифракционного муара полей деформаций, возникающих в блок-кристалле рентгеновского интерферометра, подвергнутого ионной имплантации, в зависимости от дозы облучения. Исследовано перераспределение напряжений, возникающих в этом блоке интерферометра при его бомбардировке.

Item Type:Article
Additional Information:ՍԻԼԻՑԻՈՒՄԻ ԲՅՈՒՐԵՂՆԵՐԻ ՄԱԿԵՐԵՎՈՒԹԱՅԻՆ ՇԵՐՏԵՐԻ ՌԵՆՏԳԵՆԱԻՆՏԵՐՖԵՐԱՉԱՓԱԿԱՆ ՀԵՏԱԶՈՏՈՒԹՅՈՒՆԸ / Հ. Ռ. ԴՐՄԵՅԱՆ: The X-Ray Interferometrical Investigation of Surface Layers of Silicon Crystals / H. R. DRMEYAN.
Uncontrolled Keywords:наноструктура, муар, имплантация, поля деформаций.
Subjects:T Technology > T Technology (General)
ID Code:2016
Deposited By:Fundamental Scientific Library
Deposited On:09 Jun 2011 13:15
Last Modified:12 Mar 2014 12:39

Repository Staff Only: item control page